1-ອາຊານຕຣີ-1-ເມທິວິລເມທາກຣີເລດ

　　ຂົວຫຼັກຂອງການນຳໃຊ້ແລະຄ່າເທັກນິກ

　　1. ວັດຖຸສົມບັດແລະວັດຖຸສົມບັດໄຟຟ້ານູນນຳຂະໜາດ

　　ເຣຊິນເມັດຣິວເວີເລີ້ນຂອງ ArF: ເມື່ອປະສົມກັບ α-ບູຕີໂລນເມທິລໄອຄຣິລິກ (GBLMA) ແລະ 3-ຮີດຣອກຊີ-1-ອາດາມັນຕັນໄອຄຣິລິກ (HADA), ສາມາດຜະລິດເຣຊິວເວີເລີ້ນທີ່ມີຄວາມລະອຽດໄດ້ 70 nm. ໂຄງສ້າງອາດາມັນຕັນຄວບຄຸມອັດຕາການລະລາຍໂດຍການປະຕິບັດການຖອດປ້ອງກັນທີ່ມີກົດລະດັບສູງ, ຫຼັງຈາກຖືດລົງດ້ວຍເລເຊີ້ 193 nm, ຄວາມຕ່າງຂອງການພັດທະນາເປັນ 4.2, ເຊິ່ງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຜະລິດຂັ້ນສູງ 14 nm.

　　ວັດຖຸສົມບັດຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ມີຄ່າຄ່າຍຄວາມສາມາດໄຟຟ້ານຳຂະໜາດຕ່ຳ: ເມື່ອປະສົມກັບໄອຄຣິລິກທີ່ມີຟູໂລຣີນ, ສາມາດຜະລິດເຣຊິນຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ມີຄ່າຄ່າຍຄວາມສາມາດໄຟຟ້ານຳຂະໜາດ (ε) ຕ່ຳເຖິງ 2.8, ໃຊ້ສຳລັບຊັ້ນເຊື່ອມໂຍງຊິບ 5G, ຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍພະລັງງານໃນການສົ່ງສັນຍານ (ຫຼຸດລົງ 30% ເມື່ອທຽບກັບວັດຖຸສົມບັດຫຸ້ມຫໍ່ເອປອກຊີແບບດັ້ງເດີມ).

　　2. ວັດຖຸສົມບັດທາງທັດສະນະສຶກ ແລະ ການສະແດງຜົນ

　　ເຣຊິນທີ່ທົນຄວາມຮ້ອນແລະໂປ່ງໃສສູງ: ໂພລິເມີເຮີໂຮໂມໂພລິເມີເຮີມີອັດຕາການໂປ່ງໃສ 92% (400-800 nm), ຄວາມຂຸ່ມ < 0.5%, ສາມາດໃຊ້ສຳລັບເລັນຊ໌ຫຸ້ມຫໍ່ LED, ໃຊ້ງານໄດ້ດີໃນອຸນຫະພິດ 150℃ ໂດຍບໍ່ມີການເປັນສີເຫຼືອງ (ດັດຊະນີການເປັນສີເຫຼືອງ YI < 1).

　　ເຟີມທາງທັດສະນະສຶກຂອງອຸປະກອນ VR: ເມື່ອປະສົມກັບໂພລິຄາບອນເນດ (PC), ສາມາດຍົກລະດັບຄວາມແຂງຂອງເຟີມໃນການທົນການຂີ້ດ້ວຍ (ຄວາມແຂງດ້ວຍດິມສະໄກ 4H) ແລະຄວາມຍືດຍຸ່ນ (ຫມູນ 180° 1000 ເທື່ອ ບໍ່ມີຮອຍແຕກ), ເໝາະສຳລັບເລັນຊ໌ຟຣີເນວ (Fresnel lens) ຂອງຫົວ VR.

　　3. ສີທາດຸການປະສລິດຕະພາບສູງ ແລະ ທາງເຊື່ອມໂຍງ

　　ສີກັນກັນການກະຈາຍທົນຄວາມຮ້ອນ: ເມື່ອປະສົມກັບໄອຄຣິລິກອອກການິກຊິລິໂຄນ, ຊັ້ນສີທີ່ເກີດຂຶ້ນຍັງຮັກສາຄວາມຕິດຢູ່ໄດ້ໃນອຸນຫະພິດ 250℃ (ລະດັບ 0 ຕາມວິທີການຂີ້ຕາຕະລາງ), ຄຸນສົມບັດທົນຄວາມກະເສີມເຫຼືອງໄດ້ 1000 ຊົ່ວໂມງ (ມາດຕະຖານ ASTM B117), ໃຊ້ສຳລັບການກັນການກະຈາຍຂອງທໍ່ອອກລົມເຄື່ອງຈັກ.

　　ທາງເຊື່ອມໂຍງໂຄງສ້າງ UV ທີ່ແຂງແຮງ: ເມື່ອເພີ່ມ AdMA 10-15% ສາມາດຍົກລະດັບຄວາມແຂງຂອງຊັ້ນທາງເຊື່ອມໂຍງເປັນ 28 MPa (ພື້ນຖານໂລຫະຜະສົມອາລູມິນຽມ), ໃນເວລາດຽວກັນກັບຮັກສາຄວາມມີຄວາມສະຖີດົນໃນການປ່ຽນແປງອຸນຫະພິດຈາກ -50℃ ຫາ 180℃, ໃຊ້ສຳລັບການຕໍ່ເຊື່ອມໂຍງອະນະພະບາດຍົນອະວະຍາດ.

　　4. ການດັດແກ້ພອລິເມີເຮີພິເສດ

　　ການເພີ່ມຄວາມຍືດຍຸ່ນໃຫ້ພອລິເມີເຮີໄອມິດ (PI): ໂດຍການນຳ AdMA ເຂົ້າມາໃນກປະສົມ, ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນຫີງຂອງ PI, ອັດຕາການຍືດຍຸ່ນເມື່ອແຕກຈາກ 15% ເພີ່ມຂຶ້ນເປັນ 45%, ໃນເວລາດຽວກັນກັບຮັກສາອຸນຫະພິດການປ່ຽນສະພາບເປັນແກ້ວ > 280℃, ໃຊ້ສຳລັບພື້ນຖານຈໍສະແດງຜົນທີ່ຍືດຍຸ່ນໄດ້.

　　ວັດຖຸສົມບັດຟື້ນຟອງທາງທັດສະນະສຶກ: ເມື່ອປະສົມກັບທຣີເມທິລໄອຄຣິລິກທຣີຮີດຣອກຊີເມທິລໂປຣປານໄອຄຣິລິກ (TMPTMA), ຫຼັງຈາກການແຂງດ້ວຍແສງສະວັດຕະພາບ, ຄວາມແຂງທາງການບີບັດໄດ້ 300 MPa, ໃກ້ຄຽງກັບເຄືອງໝາຍພະລັງງານທຳມະຊາດ (350 MPa), ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງຊີວະວິທະຍາກັບມາດຕະຖານ ISO 10993.