半导体硅片洁净室尘埃粒子计数器检测
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Description
Additional Information
半导体硅片洁净室尘埃粒子计数器检测
光源 | 半导体激光器, 寿命大于10年>30000h |
采样流量 | 28.3L/min(1ft3) ±5% 可自行根据采样管的长度阻力恒定流量 |
显示方式 | 155×85mm高分辨率液晶触摸屏显示(LCD) 中文界面、实时显示、上一周期显示、实时浓度显示、可显示时间、日期、测量值、温湿度、房间号、采样点、采样次数、状态等参数、 95% UCL 计算, 可直接显示粒子浓度 (颗/立方米),三级权限管理,审计追踪功能。 |
供电/工作电源 | 最大功耗:20W内置长效锂电池: |
工作时间 | 8小时 |
计数模式 | 累计值,差值,浓度值 |
测试方式 | 单一、重复、连续、计算、远程、 |
单位换算 | 单位可换算成m3 |
粒径通道 | 0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.5,1.0,5.0μm八档粒径同时计数.粒径可根据客户需要订制 |
采样周期 | 1~600
(S) 延时计数:0~99(S )
自净时间:≤10 (min) |
| Industry Category | Measurement-Analysis-Instruments |
|---|---|
| Product Category | |
| Brand: | 星源洁净 |
| Spec: | LAPC-9110T |
| Stock: | |
| Origin: | China / Jiangsu / Suzhoushi |